Description

Đặc điểm chung

SX Five là hệ thống vi phân tích đầu dò điện tử EPMA tự động điều khiển bởi chuột và bàn phím máy tính SXFive được trang bị một súng điện tử đa năng có khả năng sử dụng sợi đốt W hoặc LaB6 có điện áp lên đến 30 kV). Hệ thống bơm đảm bảo chân không 10-6 Pa trong buồng súng. Thiết bị được thiết kế để cho phép nhanh chóng và dễ dàng chuyển đổi giữa W và LaB6 trong vòng vài giờ.

Đặc biệt, SXFive có thể nâng cấp lên nguồn phát xạ trường.
Độ phân giải phân tích của 0.5μm có thể thu được tại 10kV, 100nA với LaB6

Có thể đo nguyên tố vi lượng (nồng độ thấp hơn 0,01% trọng lượng) trên một khu vực nhỏ với độ chính xác cao

Thiết kế WDS của CAMECA cho độ phân giải, tỉ lệ peak/nền cũng như kết quả cao nhất, định vị quang phổ kế được mã hóa quang học chính xác tuyệt đối. Tối đa có thể 5 WDS và 01 EDS. Cung cấp 04 WDS và 01 EDS. Tất cả các WDS kế có bán kính đường tròn Rowland 160mm.
Cửa sổ tách cột kính và bơm đảm bảo rằng các tinh thể quang phổ và nhiễu xạ không bị nhiễm bẩn từ bất kỳ mẫu vật liệu nào.

Động cơ không gây ồn đảm bảo độ tin cậy và lặp lại cao

Thiết kế độc đáo đảm bảo WDS có thể được quét chỉ trong 15 giây. Gắn với một góc 40 °, các WDS là tuyến tính và hội tụ hoàn toàn.

Cơ khí hóa được tối ưu để giảm thiểu số bộ phận chuyển động, đảm bảo độ lặp lại tin cậy cao.

Chỉnh thẳng hàng tại nhà máy nên không yêu cầu bảo trì thường xuyên hoặc định

Hệ quang tử

Hệ quang đồng trục cung cấp độ phóng đại điều chỉnh liên tục từ vi trường 1750 m m đến 250 m m.
Tự động lấy tiêu cự theo trục Z tích hợp trong phần mềm ứng dụng cho cả hình ảnh và phân tích.

Hình ảnh quang học trực tuyến từ máy ảnh CCD màu hiển thị trên hệ máy tính thông qua cài đặt đơn giản khung hình kỹ thuật số.
Chuột điều khiển bệ mẫu toàn bộ quá trình lấy ảnh kỹ thuật số
Cường độ chùm tia được điều chỉnh thường xuyên trong quá trình phân tích hoặc lập bản đồ.
Khẩu độ cuối tự động và được điều khiển bởi máy tính.

Có thể nâng cấp lên nguồn phát xạ trường.

Tinh thể độ nhạy cao

CAMECA cung cấp một số loại tinh thể bao gồm toàn bộ bảng tuần hoàn bắt đầu từ Be.
Tinh thể lớn với vùng phủ sóng đầy đủ và tỉ lệ peak/nền cao cho phép phân tích WDS nhanh hơn.

Những tinh thể này cực kỳ hữu ích trong đo lường với độ nhạy của nguyên tố với chùm điện tử.

Tinh thể lớn đặc biệt cho phân tích B và N độ nhạy cực cao

Tinh thể đa lớp cho phân tích các nguyên tố nhẹ Be đến đến F

Có thể lựa chọn thêm các giả tinh thể cường độ cao cho hiệu suất tăng trong giới hạn phát hiện mà không mất tỉ lệ peak/nền hoặc độ phân giải.
Các tính thể cường độ cao có sẵn: TAP, PET, LiF và PC.
Dải bước sóng giống nhau có thể truy cập với các tinh thể cường độ cao và với các tinh thể tiêu chuẩn.

Quang phổ WDS

Các quang phổ kế CAMECA có thể được gắn kết theo chiều dọc cho mẫu vật bằng phẳng và đánh bóng, hoặc trong một góc nghiêng cho mẫu vật thô.
WDS gắn theo chiều dọc là nhạy với sự thay đổi ΔΖ nhỏ với nguồn tia X.
WDS nghiêng ít nhạy hơn với tia X. Khi thay đổi ΔΖ, vị trí của tia X không ảnh hưởng lên góc Bragg do đó ảnh hưởng rất nhỏ đến độ nhạy quang phổ. Điều này làm cho WDS nghiêng đặc biệt hữu ích cho phân tích hoặc lập bản đồ của mẫu vật với một bề mặt thô. Nó cũng rất phù hợp cho nghiên cứu sự dịch chuyển của peak

Điều khiển trực tiếp quang phổ với không tinh thể hoặc các điều chỉnh vòng tròn Rowland cần thiết, cung cấp độ tuyến tính toàn bộ dải phổ.
Quang phổ kế với bộ mã hóa quang học tuyến tính cho tốc độ cao (15 mm / s, <15 giây limit to limit). Dịch chuyển không có độ dơ.
Quang phổ kế với động cơ đặt dưới chân không, loại bỏ tất cả các yếu tố dẫn điện trong chân không.
Quang phổ kế với động cơ gắn kết trực tiếp đến vít chì, loại bỏ bánh răng và không cần bảo trì cũng như hoạt động hoàn toàn không gây tiếng động.

Quang phổ kế được gắn đối xứng để bù trừ mất tiêu cự tia X cho hai quang phổ cùng một lúc
Tất cả các quang phổ kế có cùng bán kính vòng tròn Rowland: 160 mm.

Tùy chọn thêm quang phổ gắn dưới một góc nghiêng với 4 tinh thể, độ sâu tiêu cự tia X ± 400 m m.

Phân tích đồng thời EDS / WDS
SXFive có thể kết hợp EDS với WDS trong định lượng và chụp ảnh, lập bản đồ đồng thời với 5 kênh WDS và lên đến 8 kênh EDS.

Tích hợp kính hiển vi quang học

Các SXFive cung cấp hình ảnh quang học tốt nhất trên thị trường nhờ kính hiển vi quang học chất lượng cao gắn đồng trục với chùm điện tử.

Một máy ảnh CCD, quan sát ánh sáng phản xạ của lát mỏng trong khi chụp ảnh phân cực truyền qua.

Vi trường quan sát thay đổi liên tục từ 250 đến 1750μm nhờ một ống kính tự động. Một hệ thống lấy nét tiêu cự tự động Z đảm bảo dịch chuyển mẫu về vị trí hội tụ phân tích

Bệ mẫu dịch chuyển độ chính xác cao

Bệ mẫu với động cơ điều khiển trực tiếp, được gắn dưới chân không và bộ quang học mã hóa vịt trí cho chuyển động tốc độ cao (tối đa 20mm / s) mà không bị hiện tượng dơ, bao gồm cả chế độ dịch chuyển theo vi bước.

SXFive được trang bị bệ mẫu đa năng có khả năng dịch chuyển microsteps 0.1μm mà không ảnh hưởng đến tốc độ (lên đến 15mm / s) và độ lặp lại. Tốc độ cao được thực hiện với bộ mã hóa định vị quang học cung cấp độ chính xác tuyệt đối vị trí mẫu với độ lặp lại trong 1μm.

Hệ thống chân không

SXFive được thiết kế đảm bảo chất lượng chân không tốt nhất.

Bơm ion được sử dụng cho chân không buồng súng đảm bảo chân không cao <7×10-8 Torr, tương thích ngay lập tức với sợi đốt LaB6.

Chân không buồng mẫu <7×10-7 Torr
Buồng mẫu sử dụng với bơm turbomolecular
Van khí tự động cách ly chân không giữa súng và buồng mẫu.
Chức năng khử nhiễm được tích hợp trong phần mềm định lượng.

Bơm turbomolecular chân không cao và việc sử dụng công nghệ bơm sạch

Chân không không dầu đảm bảo sạch và kết quả chính xác trong phân tích nguyên tố nhẹ như Carbon.

Hệ thống chân không là hoàn toàn tự động và hoàn toàn được bảo vệ bởi tất cả các chức năng an toàn cần thiết.

Phần mềm chuyên dụng cho xác đinh điểm peak, định danh nguyên tố, lập bản đồ và định danh pha.

Đầu thu

Đầu thu phát hiện (đếm) được cung cấp cũng như bộ tiền khuếch đại trực tiếp gắn trên mỗi máy quang phổ, giảm điện dung.
Bộ phân tích đa kênh thay vì đơn kênh cung cấp phổ năng lượng trong 1 giây tại tốc độ đếm 10000 cps.

Phần mềm
SX Five tự động điều khiển với máy tính phần mềm Windows.
Phân tích định lượng với khả năng đo lường peak tích hợp trực tuyến.
Phân tích định lượng khả năng hiệu chỉnh các peak bị chồng phổ.

Đa chức năng với kahr năng thu nhận đồng thời từ nhiều máy quang phổ,
Bừ trù mất Na trực tuyến.
Khả năng phân tích mẫu lớn, đa lớp cho các tính toán tốc độ cao và tăng cường hệ số hấp thụ với các nguyên tố nhẹ
Có thể phân tích định lượng 40 nguyên tố trong một lần chạy.
Tính toán trực tuyến cường độ tiêu chuẩn ở điện áp cao khác nhau.
Khả năng kết hợp 2 tập tin kết quả định lượng khác nhau và tính toán lại cho phân tích cuối cùng.
Phần mềm chuyên dụng để tính tuổi và lập bản đồ tuổi (dựa trên kết quả đo U-Th-Pb)
Tất cả các quá trình thu nhận và xử lý hình ảnh là tiêu chuẩn.
Định lượng đúng bản đồ tia X với mỗi điểm ảnh được xử lý với j chương trình hiệu chỉnh j(r z)
Phần mềm vi xử lý bản quyền là được tải xuống và nâng cấp từ phần mềm trên máy tính PC.