Description

Mô-đun FlexPrep cho phép một loạt các kỹ thuật chuẩn bị tại chỗ bao gồm khắc ion, lắng đọng chùm tia điện tử, cũng như phân tích LEED và RHEED.

SPECS cũng cung cấp nhiều loại thiết bị kỹ thuật và phụ kiện tương ứng. Mô-đun FlexPrep là phần mở rộng của các mô-đun FlexPS và FlexPM để chuẩn bị mẫu riêng biệt nhưng tại chỗ. Điều này cho phép mức độ tinh khiết cao nhất trong phân tích kết hợp với sự linh hoạt cần thiết để chuẩn bị. Cấu hình bơm cũng có thể được chọn để đáp ứng yêu cầu về tải khí và áp suất cơ sở. Trong khái niệm hệ thống linh hoạt, xử lý mẫu cũng có thể được chọn về kích thước mẫu, phạm vi nhiệt độ và khả năng thao tác, để đáp ứng tối ưu các yêu cầu thí nghiệm. Thao tác mẫu FlexPrep bao gồm các giải pháp có kích thước lên đến 2 mẫu với tối đa 5 cấp độ tự do và các tính năng làm nóng và làm mát mẫu mở rộng. Ngoài ra, các khả năng lưu trữ mẫu có thể được thêm vào. Tùy thuộc vào ứng dụng, các phụ kiện phù hợp để chuẩn bị mẫu có thể được chọn từ một loạt các tùy chọn:

Nguồn ion IQE 11353 để làm sạch mẫu.

Nguồn plasma Plasma PCS-ECR, MPS-ECR hoặc PCS-RF để chuẩn bị mẫu với các thiết bị bốc bay electron, cấu hình cho màng mỏng

LEED quang học LELEED với tùy chọn Auger và gói phần mềm Safire để thu thập và đánh giá hình ảnh

Gói RHEED RHD-30 với tùy chọn phần mềm Safire và tùy chọn áp suất nâng cao.

Bộ xử lý mẫu với tối đa 6 trục, cỡ mẫu lên đến 2 inch và khả năng gia nhiệt và làm mát.