Mô tả

Trung tâm của mô đun hệ thống FlexPS UHV là buồng phân tích với thiết kế đặc biệt. Nó được tối ưu hóa để thực hiện đầy đủ các yêu cầu về hình học cho tất cả các ứng dụng quang phổ điện tử và ion phổ biến. Buồng được làm bằng μ-kim loại để tối ưu hóa che chắn từ trường và cho phép độ phân giải năng lượng cao nhất. Đối với các ứng dụng ít nhạy cảm, một cấu hình thép không gỉ cũng có sẵn. Hệ thống cơ bản phù hợp với nhiều cấu hình bơm sẵn có để đáp ứng yêu cầu tải khí và áp suất

Nhờ vào thiết kế độc đáo,các cấu phần dễ dàng có thể được bổ sung, nâng cấp và trao đổi. Trong khái niệm hệ thống linh hoạt, các tùy chọn xử lý mẫu khác nhau có thể được lựa chọn về kích thước mẫu, phạm vi nhiệt độ và khả năng thao tác.

FlexMod PS cho phép cỡ mẫu lên đến 2 “, góc thao tác 6 độ. Nó cung cấp các giải pháp phù hợp cho tất cả các hoạt động gia nhiệt và làm mát. Khe chứa mẫu bổ sung được thực hiện để tăng hiệu quả của hệ thống hoặc nâng cấp cho các hoạt động đa người dùng.

Cấu hình tùy chọn cho Phổ điện tử

Trung tâm cho quang phổ điện tử là bộ phân tích bán cầu PHOibOS. Nó là một máy phân tích điện tử linh hoạt cao, với cấu hình có sẵn cho các phương pháp ESCA, XPS, ArxPS, ArpeS, ArPES, UPS, AES, SAM, ISS, thu thập dữ liệu và phương thức phát hiện 2D.

Đầu dò đặc biệt với dải động học rộng cung cấp tốc độ đếm cao, trong khi thiết kế đặc biệt của bộ phân tích cho kết quả tốt nhất xuống đến 2 mev trong UPS và độ phân giải không gian lateral xuống dưới 50 um trong XPS.

Tùy thuộc vào ứng dụng, nguồn kích thích thích hợp có thể được lựa chọn từ một loạt các tùy chọn:

• Nguồn x-ray cho XPS / Esca bao gồm.
• Nguồn đôi anode x -ray xr 50 và nguồn đơn sắc x-ray FOCUS 500 và nguồn μ-FOCUS đặc biệt.
• Nguồn Electron EQ 22 cho AES và nguồn electron SEM / SAM xuống đến 100nm độ phân giải lateral.
• Nguồn tia cực tím biến đổi cho UPS: UVS 10/35, UVS 300 và UvlS với đơn sắc tùy chọn.
• Flood Gun FG 15/40 cho bù tĩnh điện..Nguồn ion cho chuẩn bị mẫu, tạo sâu và ISS: iQE 11/35 và 12/38 iQE.
• Thao tác mẫu lên đến 6 trục, kích thước mẫu lên đến 2 “và khả năng gia nhiệt hay làm mát.