Description

Giới thiệu chung

• Hoàn toàn tự động và tích hợp
• Các linh kiện quang học và điện tử mới giúp thực hiện phép đo nhanh và chính xác.
• Mô phỏng pha với tần số PEM cao để thu thập dữ liệu nhanh chóng và không cần dịch chuyển linh kiện quang học.
• 8 vi điểm tiêu sắc xuống đến 35 μm
• Hệ thống quan sát được cấp bằng sáng chế
• Bệ mẫu XYZ lập bản đồ, tự động lấy nét và điều chỉnh độ nghiêng

Thông số kỹ thuật

• Phổ kế Ellip quét mô phỏng pha: 190-880nm
• Hệ quan sát: cho hình ảnh mẫu theo thời gian thực và đo điểm chính xác .
• Các vi điểm được điều khiển bằng máy tính:
  • Lựa chọn 8 kích thước điểm khác nhau.
  • Tiêu sắc Achromatic xuống đến 35 µm

• Máy đo góc điều khiển bằng máy tính:
  • Dải góc thay đổi:  35° – 90°
  • Cho phép thay đổi góc phổ kế

• Bệ mẫu điều khiển bằng máy tính 200mm x 200mm, 3 trục XYZ:
  • Lập bản đồ mẫu tự động
  • Bộ giữ mẫu vuông 200mm và 2 mẫu tham chiếu
  • Điều chính chiều cao  Z tự động : 40mm, tự động hội tụ

• Căn chỉnh nghiêng mẫu:
  • Căn chỉnh mẫu bằng hệ laser

• Nguồn sáng 150 W Xenon

• Hệ đơn sắc đôi, dải UV-Vis:
  • 190nm – 880nm (ánh sáng lạc < 0.5% tại 190nm)
  • Đầu đo PMT đôi, cho độ nhạy và dải động học cao nhất

Khả năng mở rộng vùng NIR đến 2100 nm

• Hệ đơn sắc cho vùng NIR:
  • 880nm – 2100nm.
  • Đầu đo InGaAs
• Phần mềm Delta Psi2:
  • Thu thập, hiệu chuẩn và xử lý số liệu
  • Tự động hiệu chuẩn