Mô tả

Giới thiệu chung

• Dễ lắp đặt (không cần chân không cao UHV)
• Tốc độ ăn mòn lên tới micromet/ phút
• Phân tích các mẫu bán dẫn hoặc phi bán dẫn và mạ
• Phân tích định lượng chiều sâu
• Có thể đo tất cả các nguyên tố trong cùng 1 lần (bao gồm C, H, O, N và Cl)
• Độ phân giải lớp nằm trong dải nm
• Kiểu RF xung độc đáo có thể được áp dụng với các mẫu giòn và mạ.
• Tuân thủ ISO 14707 và tiêu chuẩn 16962

Thông số kỹ thuật

• Dải bước sóng: 110nm ~ 800nm
• Có tới 47 kênh nguyên tố
• Độ phân giải quang học:18 tới 25 pm đối với tất cả các nguyên tố.
• Độ nhạy của RF-GD nằm trong dải 10¹⁷nguyên tử/cm²
• Đối với các nguyên tố chính, độ chính xác điển hình là 0.4% và thời gian phân tích khoảng 90 giây.
• HORIBA Scientific (Jobin Yvon Technology) cung cấp hiệu chuẩn cho cả phân tích mẫu khối và hồ sơ lớp (CDP) cho các hợp kim của Fe, Al, Cu, Ti, Ni, Co, Zn, Sn và Pb sử dụng vật liệu tham chiếu đã được chứng nhận và cung cấp các đường chuẩn theo yêu cầu cụ thể.

Một số phụ kiện đề suất cho các loại mẫu

HORIBA Scientific đề xuất các phụ kiện để đo các lại mẫu khác nhau và tăng thêm các ứng dụng:

• Phụ kiện “Li bell” được cấp bằng sáng chế dùng để đo các mẫu không nên tiếp xúc với không khí
• Phụ kiện Centrelite được cấp bằng sáng chế dùng để định vị chính xác các điểm phân tích – giá đỡ mẫu nhỏ
• Giá đỡ mẫu vạn năng cho các mẫu phẳng, dạng ống, dạng thanh
• Các anode khác nhau (vật liệu và đường kính): các anode 2mm, 4mm, 6, 7 & 8mm.
• Bộ nối RF được cấp bằng sáng chế cho các lớp không dẫn điện dày
• Máy in
• Bộ kít để chuẩn bị cho phân tích các chất bột
• Máy chuẩn bị
• Máy đo biên dạng: giúp quyết định các điều kiện tối ưu để  có các vết lõm phẳng và rất hữu ích trong việc đo tỉ lệ phún xạ.

Phụ kiện Li bell đi kèm

HORIBA Scientific đề xuất các phụ kiện để đo các lại mẫu khác nhau và tăng thêm các ứng dụng:

• Phụ kiện “Li bell” được cấp bằng sáng chế dùng để đo các mẫu không nên tiếp xúc với không khí
• Phụ kiện Centrelite được cấp bằng sáng chế dùng để định vị chính xác các điểm phân tích – giá đỡ mẫu nhỏ
• Giá đỡ mẫu vạn năng cho các mẫu phẳng, dạng ống, dạng thanh
• Các anode khác nhau (vật liệu và đường kính): các anode 2mm, 4mm, 6, 7 & 8mm.
• Bộ nối RF được cấp bằng sáng chế cho các lớp không dẫn điện dày (sáng kiến bắt nguồn từ dự án của EU
• Máy in
• Bộ kít để chuẩn bị cho phân tích các chất bột
• Máy chuẩn bị
• Máy đo biên dạng: giúp quyết định các điều kiện tối ưu để  có các vết lõm phẳng và rất hữu ích trong việc đo tỉ lệ phún xạ.