Horiba SMART SE

Thiết bị phân tích phân cực ellip (Spectroscopy ellipsometer) Smart SE linh hoạt cho kết quả phân tích màng mỏng nhanh và chính xác.

Mô tả

Giới thiệu chung

  • Vận hành đơn giản bằng phím bấm
  • Mô phỏng dựa trên tinh thể lỏng; không cần dịch chuyển các linh kiện quang học
  • Thu nhận dữ liệu phổ nhanh do đầu đo CCD – Hệ thống quan sát được cấp bằng sáng chế.
  • Có thể thay đổi góc tới
  • Cấu hình trong
  • Dải phổ cố định: 450nm~1000nm

Cấu hình

Dải phổ:

450nm đến 1000nm

Độ phân giải phổ

> 3nm

Nguồn sáng

Kết hợp Halogen và Blue LED

Thời gian đo

<1 giây đến 10 giây

Kích cỡ chùm tia

75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

500µm*500µm

Góc tới

45o đến 90o , bước nhảy 5o

Kích thước mẫu

đến  200mm

Căn chỉnh mẫu

Điều chỉnh chiều cao và nghiêng tối đa 17mm

Kích thước

100cm * 46cm * 23cm(W*H*D)

 

Hoạt động

Độ chính xác truyền thẳng trong không khí

Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

Độ chính xác chiều dày trên 1000 Å Oxide

0.04%

Độ lặp lại chiều dày trên 1000 Å Oxide

±0.02%

Đánh giá

Chưa có đánh giá nào.

Hãy là người đầu tiên nhận xét “Horiba SMART SE”

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *